祝贺771所两套微波去胶机应用超过七周年
2022-04-21
西安微电子技术研究所的两套微波等离子去胶机成功验收应用两周年之际，那诺中国有限公司正式表达祝贺。自验收开始，截至目前为止，该两套微波等离子去胶机运行稳定正常...
不使用NH3生长氮化物的ALD技术
2022-04-21
经过一系列的工艺开发、设备开发，以及客户实际使用的探索，NANO-MASTER宣告已经实现了不适用NH3气体来生长氮化物薄膜的PEALD技术和设备。
该技术建基于高密...
淋浴头气流的平面ICP离子源应用于ALD系统
2022-04-21
继NANO-MASTER独家专利技术的带淋浴头气流分布的平面ICP离子源应用于NANO-MASTER的刻蚀系统，ICPECVD沉积系统，PA-MOCVD生长系统之后，该ICP离子源顺利应用于AL...
参加第17届国际原子层沉积会议
2022-04-21
今年7月，Nano-Master总裁Birol博士应邀参加在美国科罗拉多州丹佛举办的ALD2017国际展会，并展出Nano-Master自主品牌的ALD/ALE设备演示机，赢来了国内外客户的关...
祝贺江苏大学磁控溅射系统成功应用六周年
2022-04-21
江苏大学的磁控溅射系统成功验收应用一周年之际，那诺-马斯特中国有限公司正式表达祝贺，自验收开始，截止目前为止，该磁控溅射系统运行稳定正常。
该系统给用户提供了RF...
北京理工大学RIE-PECVD顺利安装验收
2022-04-21
2017年7月，北京理工大学的RIE-PECVD双系统顺利安装验收。这套设备是NANO-MASTER极富特色的双系统设备，一套中实现了RIE反应离子刻蚀工艺，同时具备PECVD等离子增强化学气相沉积...
ALD系统应用范围再次升级
2022-04-21
随着NANO-MASTER独家专利技术的ICP源的深入应用，对于大面积的基片提供均匀高品质的薄膜生长得以实现。到目前为止，NANO-MASTER的ALD系统可以支持在任意尺寸的衬底上的扩展，...
微波PECVD于中科院深圳先进院4周年
2022-04-21
那诺中国很高兴地告诉大家，NANO-MASTER的微波PECVD系统产品即将应用于中科院深圳先进技术研究院。该系统即将配套远程微波等离子源，带直流偏压，支持高达900度的样品台加热，提...
先进院磁控溅射镀膜系统顺利安装验收
2022-04-21
2017年八月初，深圳先进院磁控溅射镀膜设备的安装条件已经具备。在那诺-马斯特国内的团队和美国工程师的努力下，NANO-MASTER NSC-3500型真空设备顺利安装调试...
祝贺中国中车微波去胶机应用超过六周年
2022-04-21
中国中车（之前是南车）的微波等离子去胶机成功验收应用一周年之际，那诺中国有限公司正式表达祝贺。自验收开始，截止目前为止，该微波等离子去胶机运行稳定正常。...
