祝贺中国中车微波去胶机应用超过六周年

2022-04-21

中国中车（之前是南车）的微波等离子去胶机成功验收应用一周年之际，那诺中国有限公司正式表达祝贺。自验收开始，截止目前为止，该微波等离子去胶机运行稳定正常。

该系统给用户提供微波等离子去胶、打底膜的能力，可以支持一次40片的6"晶圆片的批处理。系统配套法拉第笼，可以屏蔽静电对晶圆片的影响。该系统在客户的生产工艺的应用方面提供了重要的作用。