分划板清洗机

LSC-5000是NANO-MASTER最新的具有先进技术和功能的分划板清洗机。配套的自动化的分划板机械手上下片，LSC-5000可实现全自动清洗工艺，这允许用户可以获得高精度、高均匀性、及高重复性的清洗。
 
LSC-5000可清洗带保护膜的掩模板的背面，以及正面的对准标记，减少对这些掩模板不必要的移除及再覆膜的操作。带保护膜掩模板整个正面表面的兆声清洗和旋转甩干可以在无损以及无渗流凝结的状态下执行。也可以去除保护膜框架的黏胶并对再覆膜的表面做预处理。
 
系统配套双滴胶臂，线性手臂提供了对带保护膜分划板上的正面对准标记的均匀清洗，径向手臂可提供了背面清洗的均匀能量分布的兆声去离子水清洗。分划板面朝下固定在托盘上并且背面可以使用径向手臂清洗，接着分划板被干燥、捡起并翻转。薄膜保护杯安装到正面，然后对准标记用线性驱动手臂的兆声去离子水、刷子和化学试剂清洗。接着托盘被旋转180°并清洗另一面，进行干燥并且保护杯被移开，最后分划板全自动放置到SMIF盒子中。

• 特点
• 选配
• 应用